真空设备工作原理

　　金融界2024年11月13日消息，国家知识产权局信息显示，乐金显示光电科技（中国）有限公司申请一项名为“抽真空装置、镀膜设备以及抽真㊣空方法”的专利，公开号 CN 118932310 A，申请日㊣期为2024年7月。

　　专利摘要显示，本发明涉及一种抽真空装置、镀膜设备以及抽真空㊣方法，抽真空设备㊣包括第一真空㊣泵、第二真㊣空泵、出气管和循环气管，第一真空泵的额定功率大于第二真空泵的额定功率            真空设备工作原理，出气管的入口端与中转腔室连接，出气管的出口端向外排放气体，第一真空泵设置于出气管上，循环气管的两端均与出气管连接，且循环气管的一端位于第一真空泵与出气管的入口端之间，循环气管的另一端位于第一真空泵与出气管的出口端之间，第二真空泵设㊣置㊣于循环气管上。通过使用额定功率较小的第㊣二真空泵进行运作，使得整个抽真空装置的耗电量降低，达到节约能源的目的，有利于降造成本。